完整性試驗數據最小泡點值

0.1 μm+0.1 μm: > 0.4 MPa，水

0.22 μm+0.22 μm: > 0.35 MPa，水

完整性試驗數據擴散流

≤30 ml/min@2.8 bar （0.22 μm+0.22 μm）

精度選型

0.22 μm+0.1 μm

0.22 μm+0.22 μm

0.45 μm+0.22 μm

0.45 μm+0.45 μm

0.65 μm+0.45 μm